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[求助] finfet OD

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发表于 2024-9-3 11:11:45 | 显示全部楼层 |阅读模式

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FINFET制作流程中,是先做FIN,然后由FIN来形成源漏的,那么版图中的OD层(T12),是用来干什么的呢?制作流程中哪一步是形成OD的,OD是在哪的?难道它就只是用来选定有哪些FIN有效嘛
发表于 2024-9-3 12:34:52 | 显示全部楼层
你这样理解也行
发表于 2024-9-5 10:31:20 | 显示全部楼层
OD是定义有源区的,也就是source和drain
发表于 2024-9-5 16:13:27 | 显示全部楼层
在版图上的OD并不是实际的OD,我习惯把它称为drawing OD,经过运算后才会在MASK做到die上形成fin
 楼主| 发表于 2024-9-6 18:00:17 | 显示全部楼层
版图制造过程中,不是先把所有FIN制作出来,然后再根据管子的位置cutOD的嘛
 楼主| 发表于 2024-9-6 18:01:23 | 显示全部楼层


胡小辰 发表于 2024-9-5 16:13
在版图上的OD并不是实际的OD,我习惯把它称为drawing OD,经过运算后才会在MASK做到die上形成fin ...


版图制造过程中,不是先把所有FIN制作出来,然后再根据管子的位置cutOD的嘛

发表于 2024-9-9 11:41:56 | 显示全部楼层
是形成源漏的注入类型 而源漏其实在od阶段已经形成了
 楼主| 发表于 2024-9-14 17:34:36 | 显示全部楼层
实际上,OD不是一个实际的层次,它只是用来框定管子的哪些FIN是有效的,制造上看,它是用来生成COD的
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