finfet OD

osytyjih · 发表于 2024-9-3 11:11:45

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FINFET制作流程中，是先做FIN，然后由FIN来形成源漏的，那么版图中的OD层（T12），是用来干什么的呢？制作流程中哪一步是形成OD的,OD是在哪的？难道它就只是用来选定有哪些FIN有效嘛

jinpeng.li · 发表于 2024-9-3 12:34:52

你这样理解也行

tosayes · 发表于 2024-9-5 10:31:20

OD是定义有源区的，也就是source和drain

胡小辰 · 发表于 2024-9-5 16:13:27

在版图上的OD并不是实际的OD，我习惯把它称为drawing OD，经过运算后才会在MASK做到die上形成fin

osytyjih · 发表于 2024-9-6 18:00:17

版图制造过程中，不是先把所有FIN制作出来，然后再根据管子的位置cutOD的嘛

osytyjih · 发表于 2024-9-6 18:01:23

胡小辰发表于 2024-9-5 16:13
在版图上的OD并不是实际的OD，我习惯把它称为drawing OD，经过运算后才会在MASK做到die上形成fin ...

版图制造过程中，不是先把所有FIN制作出来，然后再根据管子的位置cutOD的嘛

lalala2018 · 发表于 2024-9-9 11:41:56

是形成源漏的注入类型而源漏其实在od阶段已经形成了

osytyjih · 发表于 2024-9-14 17:34:36

实际上，OD不是一个实际的层次，它只是用来框定管子的哪些FIN是有效的，制造上看，它是用来生成COD的

bigjohn · 发表于 2024-12-7 12:35:52

tosayes 发表于 2024-9-5 10:31
OD是定义有源区的，也就是source和drain

Many thanks.

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