UMC工艺poly外接需要N+或P+离子注入吗？

白香 · 发表于 2024-8-14 09:02:23

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本人新人，发现T家或者其他工艺中DRC会要求把poly做在N型或者P型的离子注入里，好处是在注入中poly的方块电阻会变小，尤其是外接打孔的部分更需要注意。
但在UMC55工艺中发现DRC不会对此有特殊要求，如图可以看出A的poly全部做在N注入中，B的外接打孔处没有N注入，这两组的DRC都可以过。
那么是UMC的工艺制成足够先进，不care这部分的电阻。还是说这里本应该手动添加离子注入，DRC检查有漏洞呢。

fengrlove · 发表于 2024-8-14 09:42:56

我举得最后mask运算的时候应该会把 poly都坐在n注入里。。你可以看下jdv，或者看下mask运算。。都没有的话，可以问问工厂

白香 · 发表于 2024-8-14 10:31:45

fengrlove 发表于 2024-8-14 09:42
我举得最后mask运算的时候应该会把 poly都坐在n注入里。。你可以看下jdv，或者看下mask运算。。都没有的话 ...

好的，感谢大佬

真诚的小鲸鱼 · 发表于 3 天前

感谢分享

[讨论] UMC工艺poly外接需要N+或P+离子注入吗？

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