衍射极限附近的光刻工艺有人看过这本

andy2000a · 发表于 2024-4-19 12:42:09

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本帖最后由 andy2000a 于 2024-4-19 12:50 编辑

衍射极限附近的光刻工艺

有人看过这本吗 ?? 想找中文光刻来学光刻

这边看光刻英文

https://bbs.eetop.cn/thread-919578-1-1.html

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第7章光学光刻.pdf (987.57 KB, 下载次数: 24 )

generalradec · 发表于 2024-8-20 19:11:22

感谢楼主，楼主辛苦了！！

JaydenHan · 发表于 2024-11-11 18:04:46

感谢，是中文版本

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