关于各家工艺电阻温度系数的问题

1oveyy · 发表于 2023-11-24 14:53:14

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本人没有什么实际的流片经验，想请教一下各位：

电阻的阻值会随着PVT变化，那电阻的温度系数能够在不同的wafer之间保持稳定吗？
在tmsc和smic的工艺下仿真发现电阻的温度系数不随着工艺角的变化而变化，实际流片出来的结果是怎么样的呢？

zuoyuancheng · 发表于 2024-7-4 09:11:01

模型给出来的是固定的，如果想确定的话，就只有测试了，改变温度看电阻的随着温度的变化情况，而后在拟合，如果TCR不变，应该就是一条斜线了

[求助] 关于各家工艺电阻温度系数的问题