压力和应力问题

不乖 · 发表于 2023-11-21 15:48:28

经常说的版图中注意压力和应力，那具体的在版图中怎么体现，考虑的是整个版图的均匀性吗

xiaoqiansimc · 发表于 2023-11-21 15:48:29

压力和应力一般都是工艺制造当中产生的，例如切割芯片会产生机械应力，以及做STI的时候淀积多晶硅会对产生一定的压力，对周围器件造成影响。其次版图是如何避免这些问题的，在芯片外围一般会加sealring来保护内部芯片防止切割时造成的损伤。具体STI相关的效应我就不一一进行说明了，你可以参考二级效应产生的原理以及如何预防，结合工艺流程与版图进行理解！