SMIC BCD工艺里 CM图层含义是什么

397051444 · 发表于 2023-11-13 11:09:53

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CM:定义为M1和M0之间的通孔
在这里和SAB有什么关系嘛？如何理解CM的作用

indigooo · 发表于 2024-6-14 15:12:27

同问

happydayTT · 发表于 2024-6-14 16:17:39

CM 是和产生CT有关的，SAB是去salicide的,增加阻抗的

teresa_xie · 发表于 2024-6-18 21:12:36

有这个器件的剖面图吗？M1是metal 1吗？请问M0这一层是如何定义的呢？

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