求教一下，mems封装一般用什么软件仿真和设计呢？

理塘丁真 · 发表于 2023-10-16 17:15:17

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本人研一在读，因为项目要求，导师安排我做MEMS封装。但是他不懂封装，师兄也没有做这方面的，所以来论坛里求教。

Kevin66 · 发表于 2023-10-31 08:53:15

加个好友交流一下

Kevin66 · 发表于 2023-11-2 13:39:45

试试comsol吧，界面比较友好

kofkoy2000 · 发表于 2023-11-3 10:20:35

#在这里快速回复#请注意什么类型的器件，光电，惯性，压力等等，要求都大不同

shg841100 · 发表于 2024-1-15 17:39:38

学习了

dndxhd · 发表于 2024-1-16 10:50:41

压-电用过COMSOL，电-热-电用过ANSYS。

[求助] 求教一下，mems封装一般用什么软件仿真和设计呢？