SMIC DRC规则的TM规则解释

LQY2000 · 发表于 2023-9-4 12:13:42

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请问SMIC130工艺中的这条DRC规则如何理解？
我的理解是只能用TM1/TM2中的其中一个，所以我在SearRing中用的是TV2+TM2的组合，TV1+TM1都没有用。
但是依然出现了该错误，所以请问如何解释？

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551131519 · 发表于 2023-9-4 14:56:48

压缩包里面应该包含一个SearRing的GDS，参考它看看

yetingyu · 发表于 2023-9-4 18:26:55

把这条DRC rule的写法也贴出来看一下

LQY2000 · 发表于 2023-9-4 23:20:10

yetingyu 发表于 2023-9-4 18:26
把这条DRC rule的写法也贴出来看一下

谢谢提醒，忘记看DRC规则的写法了。
不过我不是很了解DRC规则的语法。这里的规则是不是说M7与TM2有交集就错误？但是规则写的是TM1/TM2，是不是矛盾了？

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