请教两个tsmc65 MIM电容DRC报错的问题

yvonnewang · 发表于 2023-7-21 09:58:32

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MIM电容是直接使用工艺库生成的

现在DRC报下面这两个错误
（1）

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（2）

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有没有人知道怎么解决啊？？

李幕白 · 发表于 2023-7-21 10:56:34

可以贴一下图，只看VIA3,ME3，看情况是你的金属孔的问题via3缺少了金属3的覆盖？

yvonnewang · 发表于 2023-7-21 13:00:33

李幕白发表于 2023-7-21 10:56
可以贴一下图，只看VIA3,ME3，看情况是你的金属孔的问题via3缺少了金属3的覆盖？ ...

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只看VIA3 M3的效果。

yvonnewang · 发表于 2023-7-21 13:01:27

李幕白发表于 2023-7-21 10:56
可以贴一下图，只看VIA3,ME3，看情况是你的金属孔的问题via3缺少了金属3的覆盖？ ...

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只看VIA3和M3的结果

yvonnewang · 发表于 2023-7-21 13:48:10

李幕白发表于 2023-7-21 10:56
可以贴一下图，只看VIA3,ME3，看情况是你的金属孔的问题via3缺少了金属3的覆盖？ ...

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