关于在代工厂设计ESD-IP的方法

stevenzhang2020

关于ESD-IP的设计，想在**某国际大厂进行MPW流片，基于目前已充分研究其DRC文档以及一些通用的工艺知识的前提下。一般情况下，仍需要先了解其代工厂标准器件的相关设计原理和工艺原理，然后在其标准器件的基础上进行修改，调试出符合自己的要求的器件。

目前市场上基本上只找到一本温德通老师的书籍，在集成电路工艺基础方面做了比较有效的介绍，我想请问是否还有类似的工艺或者器件的设计资料，请大家帮忙指导，万分感谢！

fei_SH

把主流fab的ESD guideline都读精了，可以的话再结合PDK中的版图看一看研究一下，最有效果。
ESD工程应用上的有用的教材很少很少，大多数教材都是原理上的，真到工程应用上，还是要结合实际工艺。
而且ESD-IP的设计，也要结合实际需求和具体工艺，特别是高压的ESD IP，基本都是定制化。
一句话，吃经验，很难在一本教材里找到全面又那么细致具体的方案。

ericking0

在foundry提供的器件基础上，根据自己的需求设计ESD电路方案是一回事；
但是看起来你们打算在foundry的工艺平台上设计ESD器件？
要么foundry全力协助你们，提供详细工艺菜单，
要么你们能拿到免费的test wafer，自己一点点做试验慢慢试；
否则基本扯淡的；

franzjoseph

经典的几本ESD教材都涉及到了工艺啊

franzjoseph

ericking0 发表于 2023-7-10 21:49
在foundry提供的器件基础上，根据自己的需求设计ESD电路方案是一回事；
但是看起来你们打算在foundry的工艺 ...

MPW是可行的，well和diffusion的浓度有大致的数量级范围，在此基础上仿真device是可行的

ericking0

franzjoseph 发表于 2023-10-29 23:04
MPW是可行的，well和diffusion的浓度有大致的数量级范围，在此基础上仿真device是可行的
...

不知道注入剂量，不知道注入能量，不知道扩散菜单；
蒙杂质分步来仿真？
还不如直接遍历间距之类的东西，然后回片直接测；

fei_SH

器件仿真，特别是高压ESD器件的仿真，一个没有具体工艺的参数，二个没有器件的ESD模型，仿真出来的东西自己都不信。做做分析写写文章可以，工程上没人敢用。还是老实做testkey实测比较可靠。

Anihacyo

fei_SH 发表于 2023-7-10 10:51
把主流fab的ESD guideline都读精了，可以的话再结合PDK中的版图看一看研究一下，最有效果。
ESD工程应用上 ...

fab厂也只会提供cell让你用吧，不会给你详细介绍原理的，都属于各家的技术机密

fei_SH

Anihacyo 发表于 2023-10-31 22:03
fab厂也只会提供cell让你用吧，不会给你详细介绍原理的，都属于各家的技术机密
...

那肯定。所以自己得有一定的ESD底子在，既然准备自己设计ESD cell，默认各种ESD的理论和器件的工作原理应该是熟知的。
看各家fab的东西就属于理论结合实际应用。各种教材介绍的理论，各家fab提供的cell就是是实际的ESD工程上的应用，是真正用到电路中能work的ESD器件

Anihacyo

fei_SH 发表于 2023-11-1 09:00
那肯定。所以自己得有一定的ESD底子在，既然准备自己设计ESD cell，默认各种ESD的理论和器件的工作原理应 ...

大部分电路其实相似，主要的关键点其实还是版图的出入，考虑工艺和效应的影响，ESD来说 感觉版图大于电路