WPE阱邻近效应中的SASBSC分别代表gate到哪的距离

闯关羊大侠 · 发表于 2023-6-2 15:35:46

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SA SB是gate到nw的距离还是到AA的距离，SC是gate到nw的距离还是aa到nw的距离

马旭东 · 发表于 2023-6-2 16:01:17

rule里面怎么说，啥工艺

Arashi丶 · 发表于 2023-6-2 16:15:45

1.你可以看rule里，里边有写
2.你可以在layout上改变其中一个的距离，看提取的后仿文件里的参数变化的是哪一个，就清楚哪个对应哪个了。

powerboy711 · 发表于 2023-6-2 16:35:11

本帖最后由 powerboy711 于 2023-6-2 16:43 编辑

SA,SB,是poly到aa边界的距离，sc是poly到well边界的距离；还有SCA,SCB,SCC 是aa到well的距离，分别对应阱参杂一阶二阶三阶分布

闯关羊大侠 · 发表于 2023-6-2 17:01:53

马旭东发表于 2023-6-2 16:01
rule里面怎么说，啥工艺

tsmc22的就是没有看懂规则里面的

闯关羊大侠 · 发表于 2023-6-2 17:10:34

powerboy711 发表于 2023-6-2 16:35
SA,SB,是poly到aa边界的距离，sc是poly到well边界的距离；还有SCA,SCB,SCC 是aa到well的距离，分别对应阱参 ...

谢谢，前面的懂了SCA这些感觉又没懂

yfchao2333 · 发表于 2023-6-2 19:03:34

找了两张图这样看起来更直观。SA和SB主要和STI效应相关，而SCA,SCB,SCC是关于WPE的模型参数。

再附上两篇相关资料，见附件。

闯关羊大侠 · 发表于 2023-6-5 10:49:35

yfchao2333 发表于 2023-6-2 19:03
找了两张图这样看起来更直观。SA和SB主要和STI效应相关，而SCA,SCB,SCC是关于WPE的模型参数。

再附上两篇 ...

非常感谢

wingofray · 发表于 2023-6-6 16:49:28

SA SB是gate沿沟道L方向到两边well的距离，SC SD是沿沟道W方向到两边well的距离

wangzhe301612 · 发表于 2023-6-8 09:39:01

学到了

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