ESD mos如何繪製成DUMMY

wuhy121

我是使用SMIC013的製程
如下圖，ESD PMOS共有1500個，我想把這些mos分成8排，且每一排的mos數量一致

多出來的部分接VDD成DUMMY
如此每一排的active mos數量分別是188/187/188/187/188/187/188/187
請問是不是把圈起來的這2個mos的gate和最右邊的source接VDD就可以了（如下圖）？

ZN0001

DUMMY的S/D都接电源和地，gate接管子的gate就行吧，

powerboy711

Nmos g，d，s短接到gnd，PMOS gds短接到vdd，而且esd  mos每组最好是偶数finger，不要有单的

wuhy121

powerboy711 发表于 2023-4-23 09:34
Nmos g，d，s短接到gnd，PMOS gds短接到vdd，而且esd  mos每组最好是偶数finger，不要有单的 ...

前輩您好
請問爲何ESD mos最好是偶數finger呢?

powerboy711

wuhy121 发表于 2023-4-24 09:51
前輩您好
請問爲何ESD mos最好是偶數finger呢?

你看它的版图结构，就是成对出现的，如果有单数浪费面积，做dummy也不对称

wuhy121

powerboy711 发表于 2023-4-24 10:57
你看它的版图结构，就是成对出现的，如果有单数浪费面积，做dummy也不对称
...

請問是會破壞ESD mos的特性嗎

level90

wuhy121 发表于 2023-4-24 09:51
前輩您好
請問爲何ESD mos最好是偶數finger呢?

不是一定这个说法哦，各家情况会不一样
我们这就会把powerclamp的mos断开单数个（最旁边，和你的图示一样）
而且挂成dummy也并不一定是gate/source接一起。有时会floating

powerboy711

level90 发表于 2023-4-24 15:18
不是一定这个说法哦，各家情况会不一样
我们这就会把powerclamp的mos断开单数个（最旁边，和你的图示一样 ...

poly 尽量不要floating，因为是不稳态；powerclamp 工作原理和esd的不一样

level90

powerboy711 发表于 2023-4-24 15:46
poly 尽量不要floating，因为是不稳态；powerclamp 工作原理和esd的不一样

floating并没有通路，是否不稳态并没有多大影响。况且，powerclamp本身就是用于原地间ESD放电。和ESD不一样？


还有就是，各家产品的ESD耐压要求不同。不能一概而论

powerboy711

level90 发表于 2023-4-25 08:55
floating并没有通路，是否不稳态并没有多大影响。况且，powerclamp本身就是用于原地间ESD放电。你跟我说 ...

floating poly会有电荷存在，状态可以为高也可以为低，因为没有通路也会保持该状态。外界能量也可以改变floating poly的状态，比如EEprom.

Powerclamp是利用RC电路使MOS管导通放电，做成宽漏端不对称结构只是为了均匀导通，而通常讲的I/O端口,或者电源的ESD，是指器件本身，是利用寄生三极管放电，所以原理不一样，所以不能用clamp 电路来同理看待ESD器件