求教~Polygon型的Guard Ring在版图什么时候会用到呢？

nyakukei · 发表于 2023-3-14 10:27:54

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

本帖最后由 nyakukei 于 2023-3-14 12:54 编辑

请问各位大佬！！！
Polygon型的Guard Ring在版图中什么时候会用到呢？（FinFET工艺）

按照我浅显的理解，在版图设计中要遵循对称匹配的规则，那么创建的Guard Ring基本上都是矩形形状的，那么什么情况下或者什么电路中将会应用P多边形形状的Guard Ring呢？？

ljh065216 · 发表于 2023-3-14 11:03:29

啥工艺，finfet都是poly的ring

nyakukei · 发表于 2023-3-14 11:05:29

ljh065216 发表于 2023-3-14 11:03
啥工艺，finfet都是poly的ring

就是FinFET工艺，请问poly的ring应用在什么电路中呢？

ljh065216 · 发表于 2023-3-14 11:08:22

就感觉是dummy充当ring的感觉，

nyakukei · 发表于 2023-3-14 11:10:45

ljh065216 发表于 2023-3-14 11:08
就感觉是dummy充当ring的感觉，

我又更新了一下帖子，详细描述了我的疑惑

luwang · 发表于 2023-3-14 12:48:12

本帖最后由 luwang 于 2023-3-14 12:52 编辑

nyakukei 发表于 2023-3-14 11:10
我又更新了一下帖子，详细描述了我的疑惑

不太清楚你的工艺，难道PDK还能取消上面的poly ，目前做的finfet工艺，有的是浮空的poly在ring上，有的需要和环接一起，我觉得是充当dum的作用，（即便ring上没有poly，那自动加dummy的时候，也会在上面撒上poly dummy），可以让匹配器件周围poly dummy一致，保证受刻蚀速率的影响一致，