为什么NWELL要有距离限制

danalog · 发表于 2023-3-4 12:35:18

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各位大佬好，设计规则里面有一个问题困扰了我，就是为什么NWLL要有距离限制，我能想到的就是为了避免由于横向扩散，导致不同电位的WELL挨在一起。但双阱工艺里面，如果没有其它特殊的器件的话，NWELL区域以外的地方就是PWELL，那么两个WELL挨在一起自然就会形成电学隔离，NWELL注入的浓度再怎么高也不可能会达到能够中和PWELL中P型杂质浓度的水平吧，所以为什么呢？还是我想的有问题

李幕白 · 发表于 2023-3-4 14:05:03

Nwell外如果没有什么DNW的话就是衬底呀

powerboy711 · 发表于 2023-3-6 08:17:29

NW的浓度要比PW的浓度高，两个NW中间即使有PW隔开，但是要考虑耗尽宽度，如果PWell完全变是耗尽层其实是没有隔离作用的，所以两个NW的间距一定是大于两个耗尽宽度

cellix_wxy · 发表于 2023-3-6 09:43:25

求更多资料

825555056 · 发表于 2023-3-6 09:51:46

看看机器人的回答吧，自己求证对错就好

bing_bing · 发表于 2023-3-6 09:52:58

具体看rule 比如DB的rule允许5v的NW和PW挨在一起间距可以为0

知命无畏 · 发表于 2023-3-19 14:19:26

nwell距离是否与阱邻近效应(well proximity effect, WPE)也有关?

powerboy711 · 发表于 2023-3-20 11:26:57

知命无畏发表于 2023-3-19 14:19
nwell距离是否与阱邻近效应(well proximity effect, WPE)也有关?

wpe指的时阱边界对阱内器件的影响，不是两个阱临近的影响

知命无畏 · 发表于 2023-3-20 12:24:50

powerboy711 发表于 2023-3-20 11:26
wpe指的时阱边界对阱内器件的影响，不是两个阱临近的影响

不同电压阱太近，会不会导致阱边界浓度更高，然后使阱邻近效应更明显呀？

andyfan · 发表于 2023-3-20 12:50:06

没看懂你问题在哪；

NWELL和PWELL肯定没距离限制啊，这两个必然是相邻的。

至于2个不同的NWELL，两个不同的图形，必然要有距离限制；你直接接在一起，哪就是一个图形了。只要分开成两个图形，先不讲电学NPN的击穿问题。就是做出两个分立的图形，因为光刻胶厚度的限制，也必然要有一定的规则限制这个最小距离，不然光刻胶会倒线造成partical。

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