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[求助] tsmc018 dnwnmos隔离问题

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发表于 2023-2-12 09:28:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
50资产
第一次用tsmc018工艺,做lvs时,发现dnwnmos的dnw隔离打与不打,lvs都能通过;还有哪怕dnw隔离打了,但是啥也不接(不接vdd,就浮空),lvs也能过,不知道为啥,求知道的朋友指教

发表于 2023-2-12 10:50:24 | 显示全部楼层
dnw没接,erc没报错?
 楼主| 发表于 2023-2-12 13:44:50 | 显示全部楼层
问题如图片描述,图3,dnw环不打,也能过lvs和erc,让人不理解
mmexport1676180412649.jpg
mmexport1676180407482.jpg
mmexport1676180403396.jpg
 楼主| 发表于 2023-2-12 13:47:26 | 显示全部楼层


fengrlove 发表于 2023-2-12 10:50
dnw没接,erc没报错?


大佬帮忙看下图3的情况,dnw压根没打环,lvs和erc都过了(绿色为dnw,紫色为nwell),麻烦了
发表于 2023-2-12 15:32:57 | 显示全部楼层
dnw不是环,看我示意图。。
lvs没出现错误,可能现在就一个衬底。。如果你有多个衬底电位,你没做好,就有问题
11111111111111.png
 楼主| 发表于 2023-2-12 15:47:33 | 显示全部楼层


fengrlove 发表于 2023-2-12 15:32
dnw不是环,看我示意图。。
lvs没出现错误,可能现在就一个衬底。。如果你有多个衬底电位,你没做好,就有 ...


图123dnw都不是环,是R出来的,图1/2nw是环,图3的dnw只是扩大了些,nmos本身自带dnw了,现在疑问就是图3为什么dnw不用nw接触,也能通过lvs和erc;是否有手段能检测到图3这种情况
发表于 2023-2-12 20:51:12 | 显示全部楼层
个人理解,首先电路图中的管子类型就是DNW的,你的NW其实和管子本身带的DNW就有接触了。所以LVS ERC都没问题,我觉得DRC可能会有问题。(看工艺)如果你的电路图中管子的类型不是DNW的,你就需要画一片的DNW了。
发表于 2023-2-13 09:01:55 | 显示全部楼层
NW和DNW是物理连接的,可以查一下DNW连接层
发表于 2023-2-13 09:41:09 | 显示全部楼层
lvs能过是因为你的schematic里面的元件的symbol本身就没有那个terminal
发表于 2023-2-13 09:53:49 | 显示全部楼层
或许你用的不是DNW器件,而是不带DNW隔离的器件。
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