mask tooling多层M和via

sunshine_amy · 发表于 2023-2-7 12:49:26

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mask tooling 中除M1外，其余M和VIA均有两层，且via的运算公式不同，求解

ljh065216 · 发表于 2023-2-8 15:56:08

猜测是pdk的option，选择的metal厚度不一样

sunshine_amy · 发表于 2023-2-8 17:15:33

ljh065216 发表于 2023-2-8 15:56
猜测是pdk的option，选择的metal厚度不一样

好的，谢谢！我也这样认为。后期确定之后我再回复你。

sunshine_amy · 发表于 2023-2-17 13:51:53

ljh065216 发表于 2023-2-8 15:56
猜测是pdk的option，选择的metal厚度不一样

你好，正如你猜测的一样，是厚度不同的同一层

[求助] mask tooling多层M和via