EMX抽TSMC库里的电感不准怎么解决？

zyue092700

没研究过EMX，抽取TSMC工艺库里的电感，与直接调取symbol相比，感值差不多，都是110pH，但是Q值差了不少，EMX抽取出的Q值为32，直接调取symbol的Q值为48，怀疑是我的EMX抽取设置有问题，请研究过EMX工具的大神帮我出出主意，感谢！

adsun

有可能是温度设置不同

jiaoda

你看EMX抽取层次，为了提高Q值，会对电感下面的做特殊处理，而EM工具可能没有提取这些层次

chenthree723

choose type里选择双端口电感，然后把剖分的精度提高再试试。

zyue092700

   

jiaoda 发表于 2022-6-8 08:22
你看EMX抽取层次，为了提高Q值，会对电感下面的做特殊处理，而EM工具可能没有提取这些层次 ...

我看了EMX的gdsview，只有多晶硅层、native nmos blocked implant、non silicided area definition以及dummy层没显示，没有提取这些层次影响会很大吗？

zyue092700

   

chenthree723 发表于 2022-6-8 08:40
choose type里选择双端口电感，然后把剖分的精度提高再试试。

请问双端口电感是指这个吗？

chenthree723

   

zyue092700 发表于 2022-6-8 10:40
请问双端口电感是指这个吗？

是的，根据器件实际情况选择，结果可能会更好一点。
另外，针对低感值，高Q值的器件，EMX可以在命令行参数中 添加 -uniform sources参数，也对结果有帮助。

No-one

TSMC的电感下面一般都有一层高阻的NTN层，可以降低损耗提高Q值。仿真设置的时候衬底文件可以加上这个试试。
感值对了的话应该就差不多了吧，结果就可信了。

zyue092700

   

chenthree723 发表于 2022-6-8 11:08
是的，根据器件实际情况选择，结果可能会更好一点。
另外，针对低感值，高Q值的器件，EMX可以在命令行参 ...

请问这怎么解决呢？--key=EMXkey --define=fillsize,0.5 --uniform sources

chenthree723

   

zyue092700 发表于 2022-6-8 16:18
请问这怎么解决呢？--key=EMXkey --define=fillsize,0.5 --uniform sources

好长时间没用了，你试试"--uniform-sources"