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[求助] 关于Antenna rule

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发表于 2022-5-26 13:09:54 | 显示全部楼层 |阅读模式

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如下图,如果在IC制造过程中metal上积累的是负电荷,那么PW/NP diode导通,负电荷可以直接泄放到地;
但是如果积累的是正电荷那?PN结的反向击穿电压可能会高于栅氧的击穿电压。此时,这个antenna diode还能对栅氧起到有效的保护作用吗?

image.png
发表于 2022-7-7 14:08:28 | 显示全部楼层
所以IC设计中有效的ESD保护设计需要包括gate与Si sub的两个双向diode。
发表于 2022-7-7 15:37:47 | 显示全部楼层
这个diode 需要反偏,不然正常工作情况下电压就加不上去了;而且这个diode的设计需要使其击穿电压小于保护电容的击穿电压。
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