电容并联以后面积违反drc

郑伟

大神们，我出现了一个面积太大的错误，但我也没办法再缩小电容了，该怎么画版图才能规避这个问题
Area of a bottom plate (Mn-1) region in capacitor (include active and dummy capacitor) If capacitor larger than 1225um2, please use combination of smaller capacitor

zhchang

看错误描述是电容太大了，要换成更小的电容并联的形式。
单位电容已经不能再小了吗？

郑伟

   

zhchang 发表于 2022-1-14 15:26
看错误描述是电容太大了，要换成更小的电容并联的形式。
单位电容已经不能再小了吗？ ...

它看的是整体，我也试过分成更多小的电容并联，但还是不行

zhchang

   

郑伟 发表于 2022-1-14 15:38
它看的是整体，我也试过分成更多小的电容并联，但还是不行

嗯、那不太清楚了

郑伟

   

zhchang 发表于 2022-1-14 15:51
嗯、那不太清楚了

几个电容并联这么连是对的吗，还是说我从开始就连错了

maomao198477

像smic工艺

yuxidaliumang

把距离拉开一点,让电容的识别层分开呢?没做过mim,猜的

jiaoda

你电容之间不要直接拉同层金属，每个电容之间需要挑层，不然会报天线效应

-随风-

下极板的线要往上跳一层再接到一起

MISU

请问一下 楼主最后是怎么解决的？