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[原创] 国内MEMS代工

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发表于 2022-1-11 16:25:01 | 显示全部楼层 |阅读模式

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西安励德微系统科技有限公司是一家专业提供MEMSMicro-Electro-Mechanical System一体化解决方案的技术创新企业。公司建有标准化MEMS产线一条涵盖深硅刻蚀、双面光刻、薄膜、清洗键合和隐形划片全产业链工艺设备和对应的测试能力能够快速完成SOISOG、硅基以及聚合物等微器件的工艺开发、工艺验证小批量生产工作,为众多科研院所、创新企业和高等院校提供了切实可行的定制化MEMS加工解决方案。
  业务范围
MEMS产品设计——方案制定——工艺开发——批量生产——封装测试

工艺平台
  1.深硅刻蚀系统
2.双面光刻机                 
3.磁控溅射台
    4.晶圆键合机               
    5.电子束蒸发系统              
    6.LPCVD
    7.PECVD
            

发表于 2022-12-1 13:44:41 | 显示全部楼层

        1. 提供半导体及MEMS工艺代工和工艺验证服务,工艺能力涵盖前后道所有工艺技术,主要包括:


(1)光刻:接近式光刻;
(2)薄膜制备:热氧化、PECVD
(3)金属薄膜沉积:E-beam、磁控溅射
(4)湿法腐蚀:KOH、 BOE/HF等
(5)干法刻蚀:RIE、DRIE
(6)键合:硅-玻璃、金属共晶、金属热压键合,临时键合
(7)减薄:Si、SiC、玻璃等材料的机械研磨减薄
(8)倒装焊:Au/Sn, Cu/Sn
(8)Wire Bonding
(9)皮秒激光加
价格从优,详情请咨询:李经理,qq:1393855060
发表于 2023-10-13 10:48:00 | 显示全部楼层
good thanks
发表于 2023-10-18 09:47:36 | 显示全部楼层
几寸工艺线?
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