金属导线上的电流分布如何计算

earphonebreaker

求问各位论坛的朋友，版图中Z型金属导线上的电流分布怎样计算呢？事情是这样的，我们课题组搞特殊工艺的研究，供电线用的正常的金属层，某次芯片测试的时候一不小心电流加大了结果芯片烧了，电镜结果显示导线拐角处是发热点


不知道有没有什么算法/软件可以模拟一下上电后电流密度在导线上的分布？我自己建了个电阻导线模型用spice仿真，数据显示发热点电流最小（毫无疑问是我模型建错了。。。。。）

wx148520

有芯片的版图吗？这根线多宽，多长，金属厚度多少,方块电阻多少？有版图数据和工艺的EM\IR文件的话，可以跑一下EM\IR,如果没有版图数据，在知道我刚开始问你的那些参数，可以通过R3D仿真工具简单模拟一下，或者你可以通过perc写出规则来仿真，这是我所知的办法。

earphonebreaker

wx148520 发表于 2022-1-11 10:59
有芯片的版图吗？这根线多宽，多长，金属厚度多少,方块电阻多少？有版图数据和工艺的EM\IR文件的话，可以跑 ...

版图有，工艺参数都不太确定，因为不是普通的半导体工艺。。。我试试EM软件吧，谢谢~

不许来我家干饭

试试斜线

earphonebreaker

不许来我家干饭 发表于 2022-1-11 13:38
试试斜线

不是版图的问题~这次是测试激励出了bug，电流值直接翻了好几倍，所以烧掉也是预期范围内的。只是我们想借着这个烧掉的电镜图了解一下这层金属层上的电流分布，好参考着改一下电路设计啥的~

wx148520

earphonebreaker 发表于 2022-1-11 13:20
版图有，工艺参数都不太确定，因为不是普通的半导体工艺。。。我试试EM软件吧，谢谢~ ...

你如果想跑出类似于我这种看电流密度分布以及阻抗分布的效果，我说的那几个参数还是很重要的

kopzinc

一般是边缘分布，所以不建议大电流走直角，一般要用45度角过渡 ~

earphonebreaker

wx148520 发表于 2022-1-11 14:47
你如果想跑出类似于我这种看电流密度分布以及阻抗分布的效果，我说的那几个参数还是很重要的
...

可以问一下这个是啥软件吗，俺再去跟做工艺的朋友沟通一下~

earphonebreaker

kopzinc 发表于 2022-1-11 20:54
一般是边缘分布，所以不建议大电流走直角，一般要用45度角过渡 ~

是这样的。。我自己画供电线的时候是45°，这次这个不是我画的orz

wx148520

earphonebreaker 发表于 2022-1-12 08:25
可以问一下这个是啥软件吗，俺再去跟做工艺的朋友沟通一下~

前面有讲过，软件叫R3D，第三方的软件，需要单独购买的，你如果有跑EM的工具更好，不过R3D仿真参数配置起来相对简单一点，只需要知道这层金属的厚度，方阻，宽长，这一段金属过了多大电流，就能仿真出我给你看的那种可视化效果，软件我会用，但是没有安装包的。