shrink后的误差问题

532725310 · 发表于 2021-11-24 15:20:19

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在用stream in的design scale factor等比例缩小十分之一后，出现了如图所示的误差，虽然只有0.001但是对于阵列来说阵列越大这个误差也会越大，最终还是有风险的。所以求助各位大佬能提供些解决方法，感谢感谢。
shrink前

shrink后

ljling · 发表于 2021-11-25 08:40:40

你看下10000个阵列的整体宽度,有没有累计误差.
应该是没有太大累计误差的

532725310 · 发表于 2021-11-25 09:29:09

ljling 发表于 2021-11-25 08:40
你看下10000个阵列的整体宽度,有没有累计误差.
应该是没有太大累计误差的

目前阵列是15*20，已经累积了横向0.005，纵向0.008的误差，10000怕是要几微米

carter_jim · 发表于 2021-11-25 09:35:38

你是使用laker画的吗？

532725310 · 发表于 2021-11-25 10:01:30

carter_jim 发表于 2021-11-25 09:35
你是使用laker画的吗？

virtuoso

carter_jim · 发表于 2021-11-25 10:19:06

532725310 发表于 2021-11-25 10:01
virtuoso

这个和你设置的最小grid值有关，因为精确度不够导致的，比如9.666*0.9 = 8.6994，前一个space可能取8.699，后一个space就可能取8.700了，累积下来误差可观。

532725310 · 发表于 2021-11-25 10:32:02

carter_jim 发表于 2021-11-25 10:19
这个和你设置的最小grid值有关，因为精确度不够导致的，比如9.666*0.9 = 8.6994，前一个space可能取8.699 ...

就原因来说的话我也觉得是这样，但grid已经是最小值，貌似就没办法通过调grid来解决这个问题

carter_jim · 发表于 2021-11-25 10:41:24

532725310 发表于 2021-11-25 10:32
就原因来说的话我也觉得是这样，但grid已经是最小值，貌似就没办法通过调grid来解决这个问题
...

可以调grid呀，找到你的virtuoso tf，将里面的maskLayout dbu 调成 10000，然后将 mfgGridResolution 调成 0.0001即可，这样精度就到小数点后4位了

532725310 · 发表于 2021-11-25 10:55:55

carter_jim 发表于 2021-11-25 10:41
可以调grid呀，找到你的virtuoso tf，将里面的maskLayout dbu 调成 10000，然后将 mfgGridResolution 调 ...

这样shrink后会不会off grid呢

carter_jim · 发表于 2021-11-25 11:04:05

532725310 发表于 2021-11-25 10:55
这样shrink后会不会off grid呢

不会吧，off grid一般是出现非45°斜边或者高精度match低精度才会导致

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