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[求助] finfet ESD资料

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发表于 2021-9-2 15:19:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请问哪位大神手头有finfet ESD的相关资料吗?特别是16nm的及以下的?有的话能否帮忙提供,另外请问finfet 工艺里面,用diode+RCpowerclamp做ESD防护OK吗?powerclamp使用沟道放电的那种?totalwidth>3500um够吗?
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