POLY刻蚀

刘宇512 · 发表于 2021-8-10 11:24:44

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一般来说，管子两边加DUMMY是为了让POLY的刻蚀速率一样，那为什么加DUMMY POLY的刻蚀速率就一样了

xy20190211 · 发表于 2021-8-10 11:31:38

刻蚀的时候边界的误差会大

qluo14 · 发表于 2021-8-10 13:47:29

比如左边有个管子或者电阻啥的干扰，右边没有，那么就在右边加一个一模一样的管子或者电阻，但是其实是dummy的，啥功能也没有，就让其周围环境一样

星海 · 发表于 2021-8-10 14:04:52

加DUMMY主要管子受到保护，保护边缘器件避免过度刻蚀，也能降低版图的寄生效应，比如ldo，二级效应等，加dummy尺寸尽可能与相接触管子尺寸一致。至少要是原有管子尺寸的一半。

WangJ1e · 发表于 2021-8-10 15:09:18

在刻蚀多条poly时，中间部分间距相同，刻蚀液浓度基本一致，但两边以外的部分间距过大，刻蚀液浓度与内部相差过大，所以放置两条DUMMY POLY

이지은 · 发表于 2021-8-10 15:49:13

dummy有时候是为了防干扰的，就像有些重要的金属线需要再外面两边画两根进行屏蔽，有时候为了填补面积也会加dummy，功能很多，不止为了刻蚀

musclerush · 发表于 2021-8-12 08:45:15

边界位置刻蚀停止好比汽车行驶后刹车，由于惯性等原因，你没办法分毫不差的停在你规定的位置，这种误差相比有电学意义的器件来说，显然用没有电学意义的dummy来承担效果更好。

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