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[原创] IC 电路修补 & FIB 技术

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发表于 2021-6-22 13:39:29 | 显示全部楼层 |阅读模式

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IC电路修补(FIB,Circuit Repair)为一种快速且有效验证改版光罩之成效的工具,其可应用在新芯片设计侦错、除错, 验证改版效果,组件特性实验与故障分析皆为 IC电路修补(Circuit Repair)所提供之服务项目。


聚焦离子束系统(Focus ion beam, FIB)将液态金属镓(Ga)元素离子化后(→Ga+),利用电场加速(30kV),通过静电透镜聚焦后,打到
指定的区域;而离子束撞击表面产生的二次电子和二次离子,可以透过侦测器成像(Detector),利用电子仪器放大讯号影像合成后,
透过计算机成像于屏幕上;加入相对应的气体配合不同大小孔径的针管,产生不同的蚀刻或沉积速率。


我司君海半导体技术(上海)有限公司于2009年8月成立于上海浦东张江。技术团队来自台湾,提供大上海地区专业的FIB服务,我们本著
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