Sentaurus 工艺仿真网格设置问题

金逸波波

目前在做一个3D的工艺仿真，在光刻和注入流程之后，氧化退火时out文件显示：
creating moving mesh after native
generating movingmesh mesh
smeshinterface：：updatamovingmeshparameter：-
有人知道问题是出在哪儿了吗？

金逸波波

出现这段话了程序就一直卡在那里不动了，把氧化语句改成积淀薄氧化层会报错，厚度给大些却能正常运行积淀流程。

dollarss

樓主
這會不會是節點設定的問題呢？

Hossain7

it's really tough step to do meshing in this stage for 3D.. it's better to simply deposit oxide.. u can try to turn off moving mesh steps , lets see whether it works or not

yuhongxi

我做polyreoxidation的时候有时也会出现这种问题，很烦

金逸波波

yuhongxi 发表于 2023-8-4 17:02
我做polyreoxidation的时候有时也会出现这种问题，很烦

我自己的理解是 在进行氧化的时候仿真器会在每一步的扩散完成之后宠幸计算不同材质的界面态、以及各种网格的重新划分；所需要的资源太大了。