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[求助] Sentaurus 工艺仿真网格设置问题

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发表于 2021-6-11 16:01:09 | 显示全部楼层 |阅读模式

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目前在做一个3D的工艺仿真,在光刻和注入流程之后,氧化退火时out文件显示:
creating moving mesh after native
generating movingmesh mesh
smeshinterface::updatamovingmeshparameter:-
有人知道问题是出在哪儿了吗?
30647c6897c63872f260ae3c0dc2e70.jpg
 楼主| 发表于 2021-6-11 16:05:37 | 显示全部楼层
出现这段话了程序就一直卡在那里不动了,把氧化语句改成积淀薄氧化层会报错,厚度给大些却能正常运行积淀流程。
发表于 2021-11-9 14:45:36 | 显示全部楼层
樓主
這會不會是節點設定的問題呢?
发表于 2022-2-7 19:21:55 | 显示全部楼层
it's really tough step to do meshing in this stage for 3D.. it's better to simply deposit oxide.. u can try to turn off moving mesh steps , lets see whether it works or not
发表于 2023-8-4 17:02:02 | 显示全部楼层
我做polyreoxidation的时候有时也会出现这种问题,很烦
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