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楼主: YooJio

[求助] 帮忙分析一下某个工艺手册的高压管

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发表于 2021-5-25 09:20:48 | 显示全部楼层


YooJio 发表于 2021-5-25 09:17
设计图里没有,版图里有,版图还扩大了漏极的面积


怪不得!
 楼主| 发表于 2021-5-25 09:21:02 | 显示全部楼层


狱火虫 发表于 2021-5-25 09:18
它的源极引出端是个P型区周围包了一圈N型区,那么它是怎么把NMOS的元件引出去的啊?
...


源端是在中间打孔从M2金属层引出去
发表于 2021-5-25 09:23:36 | 显示全部楼层


YooJio 发表于 2021-5-25 09:21
源端是在中间打孔从M2金属层引出去


但是看工艺文件源极的接触区是个P型区被包了一圈N型区啊!
正真的NMOS的源区引出端的接触区不应该是N型区吗?
发表于 2021-5-25 09:29:05 | 显示全部楼层


狱火虫 发表于 2021-5-25 09:23
但是看工艺文件源极的接触区是个P型区被包了一圈N型区啊!
正真的NMOS的源区引出端的接触区不应该是N型区 ...


可能需要看具体的版图我才能明白!
那工艺图重中间引出区的那个地方的端子是个什么结构啊?
172903g5q31i5c5i3fiug3.png
 楼主| 发表于 2021-5-25 09:33:26 | 显示全部楼层


狱火虫 发表于 2021-5-25 09:29
可能需要看具体的版图我才能明白!
那工艺图重中间引出区的那个地方的端子是个什么结构啊?
...


端子打孔从金属层M1出,高压管和低压管结构有些不同,我也是第一次接触高压管,工艺手册里的高压管结构多少有些不同
发表于 2021-5-25 09:35:06 | 显示全部楼层
这样啊!谢谢!我再想想吧!
发表于 2021-5-25 14:34:50 | 显示全部楼层
建议看看DMOS的资料
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