向大神请教一下，怎么仿真ESD设计是否符合规范呢？

drksh

向大神请教一下，怎么仿真ESD设计是否符合规范呢？
有相关的介绍资料可以推荐一下吗？

谢谢！

gtfei

drksh 发表于 2021-4-29 17:20
明白了。

在电路仿真满足的条件之下，是不是还要考虑device size，wire width等确保不会损坏。

device size在评估泄放电流的时候已经考虑进去了。
layout方面给出的建议如下（针对RC CLAMP）：1、着重关注电源和对地的走线，叉指型是首选，metal往上走时可以考虑横竖交叉，也可以考虑重叠（高层metal space允许的话）。注：重叠走线via数最多，过电流最大；交叉叠电流平均性更好，自己注意选择

2、VIA居中打满，不要太靠边，均匀性一定注意，不然很容易电阻不一致，电流过大烧VIA
3、RC CLAMP常规使用是电源对地泄放，所以管子的源漏排列，电源放中间，地夹电源（考虑1、电源电流下来比较均匀   考虑2、ESD对侧边或者尖角的地方比较敏感，存在“尖端放电”）
4、RC CLAMP泄放管栅极连接需要注意，尽量使得信号传递到每排GATE的时间均匀，delay过大，先导通的管子在短时间过大电流会烧坏
5、泄放管源漏有源区拉宽（通常SCP小于DCP），同时注意检查SAB层

peterlin2010

TCAD ??

maybe   TCAD 可

如果电路 SPICE 很难吧.  有听说是SPICE 仿真去用BIASCHK  看某些NODE 电流,   GATE 一般INPUT 会串电阻, 要看电流  
   会多大 . 但ESD 一些SANPBACK SPICE 能仿吗??

gtfei

RC CLAMP / ESD DIO可以仿一仿，你要是GGMOS的话，就没办法了，找foundry要文档看TLP比较靠谱

drksh

gtfei 发表于 2021-4-29 10:07
RC CLAMP / ESD DIO可以仿一仿，你要是GGMOS的话，就没办法了，找foundry要文档看TLP比较靠谱 ...

RC CLAMP可以仿真。但是怎么判断是否合格呢？

gtfei

drksh 发表于 2021-4-29 15:35
RC CLAMP可以仿真。但是怎么判断是否合格呢？

RC CLAMP有个设计经验值，主要考虑一下三点（泄放时间、泄放电流大小、ESD等效电路）：1、设计上保证在响应几十ns级的ESD脉冲情况下，泄放管至少达到1us以上的持续泄放（导通）时间

2、经验值：AC下1.33A（安培）对应2KV HBM，同理4KV对应2.66A，所以在条件1里面的泄放过程中，电流均值需要达到该值
3、仿真需要参考标准HBM放电等效电路来搭（就是那个L/R/C加开关切换2kV的电路），可以适当调整参数，加大设计margin

drksh

gtfei 发表于 2021-4-29 17:10
RC CLAMP有个设计经验值，主要考虑一下三点（泄放时间、泄放电流大小、ESD等效电路）：1、设计上保证在响 ...

明白了。

在电路仿真满足的条件之下，是不是还要考虑device size，wire width等确保不会损坏。
Layout方面有什么经验性的标准吗？

drksh

gtfei 发表于 2021-4-29 17:49
device size在评估泄放电流的时候已经考虑进去了。
layout方面给出的建议如下（针对RC CLAMP）：1、着重 ...

多谢！

有没有好的ESD Layout方面的参考资料可以推荐一下？

gtfei

drksh 发表于 2021-4-29 18:29
多谢！

有没有好的ESD Layout方面的参考资料可以推荐一下？

暂时没有，基本上就是通过原理分析去优化了，做过之后就有经验了

mars0904

仿真的模型可以从JEDEC里面去找。

ESD circuit结构 ，layout， rule全部在工艺的design rule里面有。