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查看: 7176|回复: 18

[求助] 芯片跨电压域接口信号的CDM ESD防护

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发表于 2021-4-23 14:41:30 | 显示全部楼层 |阅读模式

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TSMC N12 FFC工艺中,芯片跨电压域接口信号的CDM ESD防护,要求信号线的面积不超过32um2(CDM ESD PEAK Current 5A ),如何理解该CDM ESD要求,请教论坛内的ESD大神和专家们?
发表于 2021-4-23 19:31:45 | 显示全部楼层
像是天线效应的要求
 楼主| 发表于 2021-4-25 12:56:10 | 显示全部楼层


lihaiqi208 发表于 2021-4-23 19:31
像是天线效应的要求


检查面积的方式的确很像天线效应,我觉得还是有些难以说通的地方,有没有更准确更科学的解释
如果单纯考虑类似天线效应的解释,我的不仅在跨电压域的接口信号,即使同一个电压域内信号线的长度太长也会产生类似的效应(CDM ESD),但是N12的ESD rule并没有针对同一个电压域内信号线面积的约束


发表于 2021-4-27 14:36:45 | 显示全部楼层
可以放具体的rule上来吗
 楼主| 发表于 2021-4-27 18:10:49 | 显示全部楼层


猴子砍树 发表于 2021-4-27 14:36
可以放具体的rule上来吗


见图的事例,两个跨域(共地)的信号传输,电压域不同,信号线面积不超过32um (CDM ESD 5A)

共地跨电压域域传输

共地跨电压域域传输
发表于 2021-4-28 09:01:28 | 显示全部楼层


zhangyang370281 发表于 2021-4-27 18:10
见图的事例,两个跨域(共地)的信号传输,电压域不同,信号线面积不超过32um (CDM ESD 5A)

...


是小于32um,就不需要加CDM了吗?
 楼主| 发表于 2021-4-28 12:56:33 | 显示全部楼层


猴子砍树 发表于 2021-4-28 09:01
是小于32um,就不需要加CDM了吗?


不是的,这个是共地的,本来可以不需要CDM ESD   防护的,但是要求信号面积小于32um2,如果超过32um2是不是需要加CDM  保护器件,rule内没有描述
发表于 2021-5-14 09:53:50 | 显示全部楼层


zhangyang370281 发表于 2021-4-28 12:56
不是的,这个是共地的,本来可以不需要CDM ESD   防护的,但是要求信号面积小于32um2,如果超过32um2是不 ...


这个问题我们也遇到过,我们后来分析的结果这个是Antenna rule,因为T12n都是finfet的管子,应该对电荷积累比较敏感。但是为什么将这个rule写在ESD rule里面,我们也没有理解。
 楼主| 发表于 2021-5-14 12:58:37 | 显示全部楼层


mars0904 发表于 2021-5-14 09:53
这个问题我们也遇到过,我们后来分析的结果这个是Antenna rule,因为T12n都是finfet的管子,应该对电荷积 ...


规定面积的,确实和ANT rule很类似,可能怕CDM电流被接口的长信号线引导过去吧,毕竟线越长尖端放电效应越明显。
关于这个rule,我觉得即使不是接口的信号线,每个电压域内部的信号线过长或者面积过大,也会有类似的ANT效应,我觉得跟是否是接口信号没什么太大关系

不过我看过ST的ESD rule,对线长是有要求的,不单单是接口的信号线,这个规定的是线长而不是线的面积

台湾柯教授的讲义中,对接口的线长也做了描述,规定的是线长,接口线越长,ESD保护的要求越高


发表于 2021-5-14 13:47:41 | 显示全部楼层


zhangyang370281 发表于 2021-5-14 12:58
规定面积的,确实和ANT rule很类似,可能怕CDM电流被接口的长信号线引导过去吧,毕竟线越长尖端放电效应 ...


你说的这个线越长,ESD越要加强,是因为线越长寄生电阻越大。跟这个不是一回事。
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