请教Poly电阻下方的蓝色方块是什么？

qsh3330 · 发表于 2021-4-13 16:18:52

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本帖最后由 qsh3330 于 2021-4-13 16:20 编辑

发现Poly电阻下方还存在一个比电阻区域稍小的方形区域，在染色层下能看到，求教这是什么层或者是什么工艺吗？

1.多晶层

图1 多晶层

2.染色层

图2 染色层

3.衬底

图3 衬底

hypo029 · 发表于 2021-4-13 20:12:02

没见过

qsh3330 · 发表于 2021-4-14 16:04:21

不知道是不是Silicide Block，在其他工艺库中有找到

ivenlin · 发表于 2023-9-28 14:02:10

那個藍色的方塊應該是沒蝕刻完的poly，
可以觀察不同尺寸的poly下方的藍色方塊距離poly的邊緣是否等距。

[求助] 请教Poly电阻下方的蓝色方块是什么？