SMIC0.18工艺的MIM电容的问题

送送送 · 发表于 2021-3-16 11:59:15

最近在用SMIC0.18的工艺库，库里只有一种MIM电容，图示的结构，由于要做的电容比较小，所以两个M6之间距离比较近，导致两个端口的耦合电容有5fF这么大，我设计的单位电容是40fF，所以影响很大，有没有什么好的解决方法，大佬们帮帮忙啦

chen20599 · 发表于 2021-3-16 15:12:10

你把单位电容设计成35fF左右，再加上耦合电容就补回来变成40fF了吧；.18工艺做这么小的电容肯定会有比较大的误差的，你要想做到足够精度可能得换工艺了

dda7XaXS · 发表于 2021-3-16 19:27:39

自己画MOM提参

送送送 · 发表于 2021-3-16 21:41:13

dda7XaXS 发表于 2021-3-16 19:27
自己画MOM提参

大佬，自己画MOM电容有没有什么参考，之前没画过，参数也不知道怎么提，是指的仿真寄生参数么

送送送 · 发表于 2021-3-16 21:42:09

chen20599 发表于 2021-3-16 15:12
你把单位电容设计成35fF左右，再加上耦合电容就补回来变成40fF了吧；.18工艺做这么小的电容肯定会有比较大 ...

多谢老哥！

peterlin2010 · 发表于 2021-3-17 07:09:32

送送送发表于 2021-3-16 21:41
大佬，自己画MOM电容有没有什么参考，之前没画过，参数也不知道怎么提，是指的仿真寄生参数么
...

MOM 一般画 2 个交错

梳子方式
但得自己做TESTKEY

回来量

送送送 · 发表于 2021-3-24 17:04:18

peterlin2010 发表于 2021-3-17 07:09
MOM 一般画 2 个交错

梳子方式

testkey之前没做过，这个是仿真环节么，望大佬指点

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