请问怎么区分一个工艺哪些是轻掺杂，哪些是重掺杂？

jessiann · 发表于 2021-2-19 11:34:00

请问给我一个工艺，我能知道每个层次的电阻率、方块电阻，我怎么区分哪些层次是轻掺杂、哪些层次是重掺杂，求高手指点，感激不尽！

neonato · 发表于 2021-2-22 15:20:26

一般情况下，电阻率低的区域掺杂浓度越高

IC_GUZZLE · 发表于 2021-3-4 15:05:20

接二楼两句，首先lz要知道掺杂改变了什么，半导体本身可以说是不导电，本征激发的电子也少，那么我掺杂了，引入了新的载流子，半导体就导电了。那么很简单，导电能力强弱跟掺杂浓度有关，我们控制变量来思考，在其他条件不变的情况下，电阻率低，那么导电能力强，方块电阻小，说明了载流子丰富，那么就应该是重掺。当然这是一般情况而言，当浓度非常非常高后，载流子迁移率会下降，反而导电能力差了。

害，都是半导体物理的东西，lz空了看看刘恩科的书吧，我也忘得差不多了如有错误烦请指正。

gavinlyc · 发表于 2021-4-13 08:48:32

顶顶顶。。。。。

[解决] 请问怎么区分一个工艺哪些是轻掺杂，哪些是重掺杂？

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