芯片上残存光刻胶会有什么影响

fuyunjifan

各位大拿，今天去做FIB，但厂家说我们的芯片上有一层光刻胶，导致FIB设备里看到的画面是一团黑，请问这是怎么回事？难道已经下线的芯片上还会有光刻胶残存吗？
谢谢
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castrader

大概是最后一次做钝化开pad光刻后剩下的吧，可能foundry觉得剩下光刻胶没啥问题，还能保护电路。

lijie5992373

这层光刻胶一定在芯片的最后一层，应该市polyimide，作用市钝化，保护的作用，比普通的钝化层(passivation)多一些俘虏移动电荷的能力，所以在高压器件和高可靠性要求的IC中会用到。可以试试用O2烧一下，类似foundry去胶的工艺。