gds版图交给FAB，再送mask shop，请问mask shop做了哪些操作呢？

spline · 发表于 2020-1-1 21:02:29

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有相应的资料介绍吗？谢谢。

tuohong · 发表于 2020-1-2 08:49:20

mask shop就是做mask。

quanqiutong · 发表于 2020-1-2 08:59:21

原来mask shop是做mask的，以前给fab就不知道后面的了

tuohong · 发表于 2020-1-2 09:15:26

本帖最后由 tuohong 于 2020-1-13 14:04 编辑

有些fab一般自带mask shop有些没有，大概的流程是这样的
.................................
删除了。

spline · 发表于 2020-1-3 18:56:43

tuohong 发表于 2020-1-2 09:15
有些fab一般自带mask shop有些没有，大概的流程是这样的。
1、fab 有mask shop，你们也选用了fab的mask sho ...

我的问题是：mask shop的输入是用户的gds文件，他输出些什么呢？

tuohong · 发表于 2020-1-6 09:53:13

spline 发表于 2020-1-3 18:56
我的问题是：mask shop的输入是用户的gds文件，他输出些什么呢？

mask，那块板子，物理意义上的。

spline · 发表于 2020-1-10 21:52:03

本帖最后由 spline 于 2020-1-23 19:56 编辑

tuohong 发表于 2020-1-6 09:53
mask，那块板子，物理意义上的。

tuohong · 发表于 2020-1-13 14:03:25

spline 发表于 2020-1-10 21:52
不对

当我没说。

ligenhang · 发表于 2020-1-14 12:12:24

你把gds送到fab，fab就会验证你的drc符不符合，然后再排版，即使你是单芯片也要排，并在切割道上添加fab自己的测试模块，包括各个层次尺寸控制，偏移量测量，还有wat测试单元这些东西，然后把这一版数据送mask house,mask house 根据给定的数据和对应的mask bias产生数据，再返回给工厂和客户确认，确认无误再生产光罩

xiwangalala1 · 发表于 2020-12-25 19:05:47

有些mask house 会负责run OPC，do boolean，add dummy 等作业啊，然后会先输出.jb file 给design house & FAB 进行job deck view verify，这个jb 与mask 上的pattern 是完全一致的，确认无误后才会做mask.

[讨论] gds版图交给FAB，再送mask shop，请问mask shop做了哪些操作呢？

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