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查看: 3190|回复: 5

[讨论] seal-ring区的一些layer为什么可以不符合design rule

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发表于 2019-12-22 14:00:15 | 显示全部楼层 |阅读模式

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最近看到design rule中,很多都exclude sealring区域。
1. 比如 PO的Minimum width、metal线的minimum space和minimum width都可以不符合design rule,请问这是为什么?
2. chip中的via一般是方形的,但是sealring区域的为什么可以是长方形的?长方形和正方形有什么区别?
3. 我了解到sealring的主要作用是保护chip在切割的时候不受到损伤,以及保护chip内部不受潮等。那么为什么还要在seal-ring中做AA PO 以及metal等,这些起到什么电学作用?

大佬们路过了帮忙答疑解惑啊!
发表于 2019-12-22 16:39:55 | 显示全部楼层
做标记用途的图形,机器识别
 楼主| 发表于 2019-12-22 19:12:05 | 显示全部楼层


prayer163 发表于 2019-12-22 16:39
做标记用途的图形,机器识别


可以说的更明确一些吗?没看懂您的回答。
发表于 2019-12-22 23:35:56 | 显示全部楼层
我怎么老感觉你是青软出来的呢。。。。。。。。。。。。。。
发表于 2019-12-23 10:08:41 | 显示全部楼层
首先咱们要明白fab 设置design rule的目的是什么。
一般来讲fab肯定是希望用最小的面积实现设计者的需求。
layout按照这个rule来画,生产上能够生产出满足设计者预期的结构,就像你说的metal线的最小宽度和最小间距,设计者用metal线目的是实现互连,在不小于这个最小宽度的情况下,fab有接近100%的能力实现这个metal线连接需求,小于这个宽度生产上发生断路的可能性增大,违背了设计者目的的概率大大增加;最小间距就是fab有几乎100%的能力保证大于等于这个尺寸情况下,相邻线不会实现短路,小于这个尺寸跟上个情况差不多。via目的是为了实现上下层互连且电学性质(主要是电阻)比较稳定,当然via情况比较特殊,一般是最大最小值,这个主要是针对目前的主流的生产工艺设定的,其实在bipolar和一些特殊工艺下,via也是只有最小值的,且有长方形的。从起的作用的角度看,pad也可以看成是一种via,就只有最小值。
在sealring上,fab不在乎上面的情况,不在乎sealring上生产时metal线是不是100%的断掉、会不会相邻短路、上下两层的metal连接是不是非常好。例如via做成条状,防潮效果好,metal互连不好,但是这里我在乎防潮效果,那么就做条状好了。
还有我看到不同的fab的sealring层次差别可能比较大。用那些层次需要从生产和保护两个方面考虑。
我对生产不了解,上面好多也是猜测的,供参考,也请大家指正。
发表于 2023-4-23 13:54:39 | 显示全部楼层


tuohong 发表于 2019-12-23 10:08
首先咱们要明白fab 设置design rule的目的是什么。
一般来讲fab肯定是希望用最小的面积实现设计者的需求。
...


按照design rule做的sealring,由于这里的CT孔和VIA孔规则偏小,所以在做DRC验证的时候 会报出这里的DRC错误。感觉是不是少了什么识别层次什么的
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