关于使用Sentaurus TCAD进行总剂量仿真

发表于 2019-11-9 15:26:49 | 显示全部楼层 |阅读模式

60资产

（1）总剂量仿真是需要添加陷阱模型，可是SiO2无法添加，是需要将它的材料变成Si，然后再把对应区域的参数改成SiO2吗？
（2）如果使用上述的模型进行单粒子仿真，那么因为材料变成了Si，所有漏电流肯定比以前的大，这个该如何解决呢？

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