7nm工艺与其他工艺在APR阶段不同的地方，求补充！谢谢~

mudouding · 发表于 2019-9-19 15:12:30

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7nm工艺与其他工艺在APR阶段不同的地方

a.7nm会有TCIC的一些类似even site/even row 的DRC的rule需要满足。

b.standard cell 的delay小，到ps量级。

c.PG flowpin 在M0层。

d.standard cell可以横向或者竖向摆放，但poly方向相同。

e.double pattern layer M0-M3,4层。

还有什么不同的地方希望大加给个补充~谢谢！

ic-service · 发表于 2019-9-21 13:04:13

power mesh 结构

[原创] 7nm工艺与其他工艺在APR阶段不同的地方，求补充！谢谢~