smic工艺top metal疑问

糯米zz · 发表于 2019-7-9 14:44:38

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假若安装的工艺为1P6M，有TM1，MTT2两层top metal，那在画版图时候在LSW窗口中选择M５或者选择TM1画出来的是不是都是TM１层？还是说两者不一样，TM1是厚一点的M5，谢谢

账户已登录 · 发表于 2019-7-9 16:46:07

安装目录下应该有文档会告诉你的吧，还有安装的时候应该也是让选了金属厚度的，对SMIC的工艺不熟悉，只能建议你看看文档里面怎么说

石头遇见雪 · 发表于 2019-7-10 17:27:45

不是的吧 IP6M 是最高metal层次是metal6 MT1 相当于metal7 MTT2相当于metal 8吧

不识君 · 发表于 2019-7-10 19:22:11

1p6m就是tm是m6

weena · 发表于 2019-7-10 22:38:16

看文档的要求，或者是规则中的说明

sltitan · 发表于 2019-7-11 08:09:44

SMIC提供的文档有说明，选择不同厚度的顶铝，用的顶铝层次不同

糯米zz · 发表于 2019-7-11 14:48:21

石头遇见雪发表于 2019-7-10 17:27
不是的吧 IP6M 是最高metal层次是metal6 MT1 相当于metal7 MTT2相当于metal 8吧

您跟楼下说法不一样到底哪个对呢

糯米zz · 发表于 2019-7-11 14:48:43

sltitan 发表于 2019-7-11 08:09
SMIC提供的文档有说明，选择不同厚度的顶铝，用的顶铝层次不同

谢谢，但是看过了，没找到

sltitan · 发表于 2019-7-11 15:43:16

比如你说的是6M的工艺，12k以下顶铝厚度的，一般用metal6，25K以上的用MTT

sltitan · 发表于 2019-7-11 16:12:44

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比如上图，1-5铝使用A1-A5，6铝使用AT，如果顶铝厚度25K以上，6铝就用TT来画。还有些工艺MIMCAP的顶铝又会用一个其他层次。具体去各厂家的工艺文件里肯定有体现的

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