晶圆平口(flat)是指什么？

lokay · 发表于 2019-7-8 09:00:51

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

为什么晶圆都有一个平口？是用来做什么的？

lijie5992373 · 发表于 2019-7-8 09:20:54

12寸叫notch，一般用来做校准用，很多process都需要固定方向进chamber，目的使uniform固定，比如黄光的CD左大右小，那么蚀刻就可以调整CD做成左小右大，Final CD左右就一样了，前提是对notch使方向固定

[求助] 晶圆平口(flat)是指什么？