求助sentaurus TCAD中的profile语句

xuhong1102 · 发表于 2019-5-29 11:24:05

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各位大侠，本人咨询一下sentaurus TCAD中的profile语句。目前在仿真process时需要导入掺杂文件，选用profile语句，如：profile name=boron infile=Doping_Boron.txt 。但仿真结果一直忽略了这一语句，单独拿出来模拟后发现是无法读取Doping_Boron，我不知道哪里出错了，是不是需要在前面定义一下该文件，一开始我只是将该文件防置在仿真目录下，以为模拟时能自动启动，现在的出错让我毫无头绪，希望有懂的人能指点一二，谢谢！