格点设置是参考DRC文件还是技术文件？

sudabin · 发表于 2019-5-1 08:39:04

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格点设置是参考DRC文件还是技术文件？DRC文件里格点是0.001；但技术文件中有一行，格点是0.005，那格点设置要参考哪一个？

yanpflove · 发表于 2019-5-1 08:59:36

您好，
一般来说，这两个地方不应该有矛盾。
如果有出入，应该以Design Manual为准；如果Design Manual中给出的比技术文件中的还要大，那么可能是有问题的，需要向工艺厂反馈。。
有的Design Manual关于最小格点要求只有一句话，有的Design Manual会对不同层次分别给出最小格点要求，规范一些的PDK会自动进行格点设置。

lianaissmec · 发表于 2019-6-6 16:18:59

2楼正解

firewolf223 · 发表于 2019-6-11 08:28:41

参考design rule 里的。DRC有时候是因为计算需要会设置更小的节点

yuanyuan94587 · 发表于 2019-6-21 08:21:37

学习了

qijiaji · 发表于 2019-6-21 10:47:12

如果layout时和design manual不一样会有什么风险？有哪位知道吗？

firewolf223 · 发表于 2019-6-21 13:45:55

qijiaji 发表于 2019-6-21 10:47
如果layout时和design manual不一样会有什么风险？有哪位知道吗？

如果layout用的格点和DR 不一样有几种情况1 layout 比DR 大且是整数倍，比如DR 是0.001 你设0.005 ，这没一点问题，但是如果你设0.0015 那就有offgrid 了
2 layout 比DR小，DR要求0.01 你设置0.005 那必然不在格点上

不在格点上的risk 主要是在litho过程中会损失CD，因为无法识别不在格点上的部分，在数据处理的时候会拟合到格点上，至于怎么拟合全看tool的心情

qijiaji · 发表于 2019-6-21 17:58:44

firewolf223 发表于 2019-6-21 13:45
如果layout用的格点和DR 不一样有几种情况1 layout 比DR 大且是整数倍，比如DR 是0.001 你设0.005 ，这 ...

首先谢谢你的回复。我想请教下“litho”过程是什么？我第一次看到这个词。

hccaiwh · 发表于 2019-6-25 17:57:38

按照设计需求对tf drc文件进行修改两者需要一致修改之前跟foundry厂进行沟通在指导下进行

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