投影透镜系统是光刻设备中最重要的部分，也是最重要的半导体设备

sinowarrior · 发表于 2018-11-22 06:52:41

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sinowarrior · 发表于 2018-11-22 07:00:43

中国只有一家生产光刻设备的公司。那是上海中微
amec-inc.com

但它只能生产90纳米光刻设备

更多研究资料

neoblackpanther.com/optics.html

neoblackpanther.com/materials.html
加油!!

student321 · 发表于 2018-11-22 18:40:59

thanks

virsim · 发表于 2018-11-23 08:58:38

thanks

sinowarrior · 发表于 2019-5-27 09:09:58

关于深DUV光刻系统光学设计的博士论文。它使用Zemax仿真软件进行光学系统。镜片由水晶制成，水晶的方向很重要，001,010,011
http://www.neoblackpanther.com/m ... riakov_20051005.pdf

Zemax软件可以从这里下载。我使用该软件，它非常强大，能够根据个人镜头材料，尺寸和距离模拟各种光学配置，并获得最终分辨率。
下载并解压缩并阅读说明如何使用它。它包括永久使用许可
http://www.neoblackpanther.com/materials/Zemax.zip

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