关于MOM与MIM电容

s橙子s · 发表于 2018-10-12 10:56:54

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设计个电路需要用电容，但是在工艺库里没有找到MIM电容，那能否用MOM电容来代替？会不会对电路有影响

rayhardenne · 发表于 2018-10-12 11:09:38

看多高频率了，PDK一般支持到20GHz-30GHz吧

s橙子s · 发表于 2018-10-12 11:13:29

回复 2# rayhardenne

感觉MOM电容版图怪怪的，理解不上去那MIM电容和MOM相比，是不是同样的面积，MIM电容能实现更大的容值？

rayhardenne · 发表于 2018-10-12 11:27:06

回复 3# s橙子s

要看什么工艺啊，如果你的金属层数很少，MIM的电容密度就有可能比MOM大；如果金属层数多了，MOM做多层金属的话，密度肯定要比MIM大的

s橙子s · 发表于 2018-10-12 13:52:57

回复 4# rayhardenne

哦哦，有道理，

谢谢啦

andyfan · 发表于 2018-10-13 12:07:06

回复 1# s橙子s

先进工艺40nm/28nm一般只提供MOM电容，MIM电容因为需要额外的MASK，一般不提供的。不过到了16nm，因为金属double pattern和方向的限制，又开始提供MIM了 .

s橙子s · 发表于 2018-10-13 17:33:33

回复 6# andyfan

哦哦，原来如此，学到了学到了

星辰1105 · 发表于 2022-7-28 16:27:27

rayhardenne 发表于 2018-10-12 11:27
回复 3# s橙子s

您好，您说的密度这两个有相应的公式吗

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