有关simc18工艺的衬底参数？

tou15837271233 · 发表于 2018-10-12 02:00:13

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本帖最后由 tou15837271233 于 2018-10-12 07:23 编辑

simc.18rf工艺的衬底厚度、介电常数和损耗等有关衬底的信息在哪呢？模型文件和design rule中都没找到，哪位大虾告知下！

kongliuer · 发表于 2018-10-12 08:54:35

用的SMIC180nmEE工艺中，你所述信息是在 spice model文件中的Related Process Data and Information for Interconnection

tou15837271233 · 发表于 2018-10-12 14:28:11

回复 2# kongliuer

但是仍没找到psub的介电常数、厚度、损耗，各层金属的电导率还有通孔有关的参数。最近对电感建模需要这些工艺参数！

diulaika · 发表于 2022-12-12 10:18:15

楼主找到了吗？

diulaika · 发表于 2022-12-12 11:11:45

楼主找到工艺参数库了吗？

xiaoshanyue · 发表于 2023-6-26 15:02:30

楼主找到了吗

[求助] 有关simc18工艺的衬底参数？