salicide和polycide工艺的区别，哪个会影响光电器件特性

wangweiww34 · 发表于 2007-10-23 09:30:54

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请教各位：salicide和polycide工艺的区别是什么，据我所知salicide会在源、漏和栅区形成金属硅化物，如果设计光电器件会影响器件出光或接收光吗？charter 0.35um mixed signal 工艺是salicide还是polycide ？

qmhere · 发表于 2007-10-27 01:07:20

salicide会有影响的，金属会遮光。polyside只在poly上长，应该影响小吧。

fengtang2332 · 发表于 2009-3-1 21:20:54

同样关注这个问题

nowich · 发表于 2009-10-11 14:25:31

进来学习下~~~~ 不了解polyside

mycolee · 发表于 2012-9-29 17:50:28

nice topic!

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