求问：工艺文件里的fail criteria是什么？

1577592423 · 发表于 2018-9-27 16:52:06

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目前看到了3种fail criteria：monitor、scrap、characterize

bole7 · 发表于 2020-11-10 15:58:08

你好，这个问题解决了没?

喵口三三斑大人 · 发表于 2023-11-23 10:05:27

你可以理解为有scrap标注的数据是最准确的，monitor,居中，characterized最差
Vth这种敏感的参数都会是scrap

cyl · 发表于 2023-11-24 08:48:03

喵口三三斑大人发表于 2023-11-23 10:05
你可以理解为有scrap标注的数据是最准确的，monitor,居中，characterized最差
Vth这种敏感的参数都会是scra ...

能不能麻烦您详细说一下，我也有同样的疑惑。谢谢！

喵口三三斑大人 · 发表于 2023-11-24 10:03:20

cyl 发表于 2023-11-24 08:48
能不能麻烦您详细说一下，我也有同样的疑惑。谢谢！

具体我也不清楚哦，这是别人跟我说的

[求助] 求问：工艺文件里的fail criteria是什么？