SMIC 018工艺MIM电容尺寸设置不被允许

单眼皮的乖女孩

回复 10# pdauser1002


    谢谢谢谢，我听师哥的意见，决定最后还是自己画电容，220fF做单位电容太大了，谢谢你的回答

02015678

PDK里的1fF应该指的是电容密度，也就是每平方微米的电容值。
根据大学物理，平板电容器只有当边长远大于介质厚度的时候，才能够忽略边缘效应。
考虑到MIM电容介质厚度数量级一般是0.1um，要求你边长大于10um才能按平板电容计算是很正常的。
所以PDK不给你画1fF的电容，即使你画个1um2的电容，也不能保证他就是1fF。

这么小的电容无法确保绝对精度。当然用在SAR ADC里是可以的，只是你需要自己画，要确保他们绝对匹配。然后还要想办法用一些奇技淫巧来过LVS和正确提取寄生参数。


参考：A 45.8 fJ/Step, energy-efficient, differential SAR capacitance-to-digital converter for capacitive pressure sensing

MOM叉指电容Layout：