关于工艺design rule中的最小步长

亭ting · 发表于 2018-4-28 15:21:23

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请问下大家，有谁知道，怎么找一个工艺里面最小的长度增加步长。比如我是65nm工艺，最小长度60nm,最小宽度80nm,那我在改变尺寸时，下一个最小的应该是多少？这个在哪里查看啊？如果是5nm要求的话，也就是说，我的长度或者宽度，就只能是5nm的倍数增加了，有谁知道这个怎么看吗？求助！求助！

layout123 · 发表于 2018-4-28 16:39:07

你说的是栅格或者grid，一般design rule里会有描述

亭ting · 发表于 2018-4-28 17:00:38

回复 2# layout123

好多文件夹，也有好多文件，这个design rule应该大致在哪看啊？

powerboy711 · 发表于 2018-4-28 22:09:58

直接看drc rule 里grid 项

亭ting · 发表于 2018-4-29 09:24:31

回复 4# powerboy711
你好，谢谢你的解答，我在路径....65nm/pdk/Designkits/RuleDecks/Calibre/DRC路径下，看到有很多文件，依然不知道是哪一个？后来点开了一个文件，搜索到了grid的位置，得到图中的几行话。这里的意思是说grid最小是5nm吗？

transistor7 · 发表于 2018-4-29 14:50:43

回复 1# 亭ting

一般情况下，在PDK的手册里面会指出，该工艺最小的dimension是多少。然后你在设计transistor的时候，基本都是那个的整数倍。

transistor7 · 发表于 2018-4-29 14:51:32

回复 5# 亭ting

应该是5nm=0.005um

亭ting · 发表于 2018-4-29 16:01:40

回复 7# transistor7

嗯嗯，好的，谢谢。不过你说的PDK的手册是那个啊？在PDK文件夹下，又有很多的文件夹。

powerboy711 · 发表于 2018-4-29 20:26:37

回复 5# 亭ting

是的。

transistor7 · 发表于 2018-4-29 23:28:28

回复 8# 亭ting

主要看几个文件。一个是DRC rule file（它是介绍DRC的一个规则的）, 一个是model file(它主要是告诉你这个PDK的所有devices的特性)。有的PDK还会提供给你他们的training manual, 比如IBM的8HP process.

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