MEMS研究、设计创新工具——实时3D动态形貌、运动、频率响应分析

lynceetec

MEMS Analysis Tool

MEMS Analysis Tool是一个后分析软件。它提供了量化和精确的3D空间和频率分析，时间序列的形貌图(4D)，通过DHM®同时拍摄面内和离面运动，离面运动精度达到MEMS激光测振仪精度，面内运动精度则远超MEMS测振仪精度，达到了1nm。

MEMS Analysis Tool是基于DHM数字全息显微镜一款软件，数字全息显微镜DHM基于菲涅尔衍射的重建算法，仅需0.001秒采集单张全息图即可得到实时3D形貌信息，无需扫描，在MEMS的设计与研究中有着独特的优势。此外，在形貌检测、形变测量、实时大面积形貌监测等也有广泛应用。

测量任何MEMS参数

Ø  模式的形状

Ø  振动图：振幅与相位

Ø  位移，速度和加速度

Ø  沿着任何方向

Ø  在视野里的任何地方

Ø  对于任何结构

Ø  频率响应

Ø  电响应

图1、面内和离面运动同时记录

file:///C:/Users/lenovo/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image003.gif仿真比较和测量

Ø  在任何时间任何地方，分析您的数据

Ø  导出数据以开放格式进行高级分析

Ø  定义您自己的分析模板，以比较有效的样本批次

高效宣传您的工作

Ø  测量您以前不能测量的样本

Ø  用视频演示出版物和会议演示

图2、不同频率下的谐振模态

面内--离面运动分析

在平面--离面分析中的高级算法

MEMS分析工具包含了强大的算法，可以分析MEMS的三维时间序列图在面内和离面的位移。

研究微小振动

Ø  边缘跟踪，傅里叶和子像素算法

Ø  平面内低至纳米

Ø  平面外低至皮米

对于大位移

Ø  模型跟踪算法

Ø  在平面内大到毫米量级

Ø  离面达到数十微米

复杂运动和几何图形的表征

Ø  板倾斜

Ø  旋转

Ø  移动部件有孔和结构

Ø  链接到出版物

频域分析

一个完整的频率响应分析工具箱

频率响应是MEMS中最重要的特性之一。MEMS分析工具提供了在时域和频域之间切换的几种方法。这种分析可以应用于平面位移和非平面位移，也可以应用于频闪观测模块的电气记录。

波德分析

波德相位和振幅的关系图

Q 因子

傅里叶分析

从时域到频域的傅里叶变换

从频域到时域的傅里叶滤波

谐波分析

基本的，第二，第三和第四谐波振幅

应用实例：MEMS麦克风和扬声器

模态分析

模式形状，与模拟仿真有效的比较

MEMS分析工具可以对4D地形和模式形状序列进行可视化分析。当振动的振幅比结构尺寸小得多，并且与模拟结果进行有效的比较时，这种第二表示非常有用。

4D阵列分析

独特的4 d分析工具

MEMS工具包括有效的工具，支持动态4D数据分析。轮廓切割，网格是其他独特的工具，它将给你的设备带来新的见解，革新他们的发展。数据可以作为文本文件或视频图像序列导出。

“array”工具，用于多设备分析

结构阵列的快速分析

个人设备之间的交叉对话

适用于大型设备的配合

快速分析：无需在测量前定义一个网格!

“Dynamic profile cut”工具

几乎是无限的积分

膜破裂电压的测定

多倍器件偏转的定量比较

Zhangshuan

谢谢分享

Zhangshuan

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watertree

谢谢分享

nokia70

thanks