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[资料] 90&65nm 工艺整合详细介绍

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发表于 2017-7-30 22:25:10 | 显示全部楼层 |阅读模式

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90/65 nm工艺整合方面的资料。介绍从AA到metal的工艺

90nm&65nm CMOS Logic Process Integration.pdf

7.01 MB, 下载次数: 1704 , 下载积分: 资产 -3 信元, 下载支出 3 信元

发表于 2017-7-31 08:51:20 | 显示全部楼层
刚好学习一下!
发表于 2017-7-31 10:37:10 | 显示全部楼层
AA是什么意思?
 楼主| 发表于 2017-7-31 17:08:41 | 显示全部楼层
AA:有些公司叫这个名字,是指在最开始的硅片上经过第一步STI工艺后形成的区域,这部分区域用来做MOS管的(nmos和pmos)。
发表于 2017-8-1 10:21:46 | 显示全部楼层
AA: Active Area
发表于 2017-8-1 20:26:32 | 显示全部楼层
谢谢分享!
发表于 2017-8-2 18:35:22 | 显示全部楼层
挺好的资料,
发表于 2017-8-8 00:26:26 | 显示全部楼层
谢谢。。。
发表于 2017-8-12 08:18:36 | 显示全部楼层
刚好学习一下!
发表于 2017-8-23 00:19:54 | 显示全部楼层
多谢。。。
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